Pfeiffer涡轮分子泵 ATH2303M 真空泵变频器

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PFEIFFER公司简介：

PFEIFFER 真空技术和真空泵供应商之一，除了全系列混合和磁悬浮涡轮泵外，产品组合还包括前级泵、泄漏检测器、测量和分析设备、真空组件以及真空室和系统。自从PFEIFFER真空发明涡轮泵以来，该公司一直代表着分析、工业、研发、半导体和未来技术市场的创新解决方案和高科技产品。

PFEIFFER总部位于德国，是世界上极 大的综合真空解决方案制造商之一，产品包括真空泵、真空系统、鼓风机、压缩机和气体减排系统。

PFEIFFER球阀、PFEIFFER单级和双级旋片泵、PFEIFFER真空计、PFEIFFER螺杆泵、PFEIFFER多级罗茨泵、PFEIFFER隔膜泵、PFEIFFER旋转活塞泵、PFEIFFER罗茨泵、PFEIFFER涡轮分子泵、PFEIFFER泵站、PFEIFFER测量仪、PFEIFFER真空检漏、PFEIFFER真空阀都是他们的主要产品。

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PFEIFFER产品介绍：

PFEIFFER便携式真空检漏仪

紧凑的外形和轻型的设计，真空便携式检漏仪是日常保养应用中泄漏检测的理想解决方案。便携式检漏仪是他们为日常便捷保养工作要求而推出的一款产品。考虑到这些应用，重要的是所用的检漏仪都是紧凑、轻型以及便携式的。他们的ASM 310便携式检漏仪，其重量为21 kg，要比传统的装置轻了50%以上。有通用的电源接头，使之可以用于全球范围。并有专用的运输箱可作为选配，使这些装置甚至可被带上飞机，特别是在需要由维修工程师来开展泄漏检测工作时，而维修工程师经要求可工作。革新的技术使他们的检漏仪与众不同。它们配备了图形化的彩色显示器，且易于通过可分拆控制面板或在远处使用遥控器来进行操作。菜单导航是用户友好型且易于操作。

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PFEIFFER紧凑型真空检漏仪：

ASM 340检漏仪确保在真空或吸枪泄漏检测方面针对各种应用都具有（从维修到小型生产环境）顶级性能。可靠的检漏仪可用于泄漏的定性以及定量的整体或局部测试。它们是同级别中能提供定性化泄漏检测的检漏仪，在进气口压力100 hPa就能进行检测。ASM 340以其强大的抽送系统为特征，且具有油式和干式两个版本。易操作性、超快的响应时间以及较短恢复时间都是此等紧凑型多用途装置的凸出特征。即使是在最严苛的检测条件下，ASM 340都是用于日常检测的解决方案。 Pfeiffer涡轮分子泵 ATH2303M 真空泵变频器

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PFEIFFER高功能移动型检漏仪：

针对大型测试对象的快速抽空和较短的响应时间，真空的移动型高性能检漏仪进行了优化。ASM 390和ASM 392是的泄漏检测解决方案，可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求应用，这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。两种设备都符合Semi S2标准。这些检漏仪都配有干式非接触式前级真空泵和强大的高真空涡轮分子泵，从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392装有一台额外的涡轮分子泵，可以加速泄漏检测流程，降低生产设备的停机时间。

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真空阀

UHV角阀DN16C手动不锈钢/铜

铜密封，适用于特高压服务

不锈钢阀体和波纹管密封

电导率通过手轮连续变化（多圈）

执行器：300°C (572°F, 573.15 K)

阀门关闭：300°C (572°F, 573.15 K)

阀门打开，真空状态：400°C (752°F, 673.15 K)

分子流电导值：3 升/秒

连接法兰：DN16CF

 Pfeiffer涡轮分子泵 ATH2303M 真空泵变频器

压差：

关闭方向压差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

开启方向压差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

开启压差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

馈通装置：波纹管不锈钢

阀门外壳材质：不锈钢

密封件：

外壳：铜

阀板：铜

使用寿命：10000次循环

紧密性：1 × 10^-10 毫巴升/秒

密封性（外壳）：1 × 10^-10 毫巴升/秒

类型：UHV角阀（超高真空角阀）

重量：1 公斤 (2.2 磅)

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泄漏检测器

ASM306S，现场总线

全时测试操作的最高可靠性和准确性

快速、可重复、高灵敏度的测量

紧凑的装置具有直观的菜单，易于操作

探头和测试泄漏需单独订购

前级泵：配备无油前级泵。

可检测气体：氦3、氢2、氦4。

尺寸：

350x305x421毫米 | 13.78x12.01x16.57英寸。

发射声压级（ENISO2151）：55分贝（A）。

I/O接口：现场总线。

输入电压：100–240伏交流电，50/60赫兹。

接口：标准15针I/O。

电源频率兼容性：50赫兹/60赫兹。

氦气最小可检测泄漏率（嗅探泄漏检测）：

1·10^-8帕斯卡立方米/秒 | 7.5·10^-8托升/秒 | 1·10^-7毫巴升/秒。

工作温度：10–40摄氏度 | 50–104华氏度 | 283.15–313.15开尔文。

极大功耗：300伏安。

响应时间：1秒。

启动时间（20°C），无校准：2分钟。

测试方法：嗅探泄漏检测。

重量：22公斤 | 48.5磅。

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质谱仪

HiQuad®Neo配备QMA400,1-512u,带轴向离子源

HiQuad®Neo质谱仪系统

 Pfeiffer涡轮分子泵 ATH2303M 真空泵变频器

极快的测量速度、宽动态范围、极 大灵敏度和出色的长期稳定性

由于偏置离子源，背景温度较低，由于场轴技术，检测限极低

PVMassSpec®-软件可实现简单直观的操作和可视化

利用综合矩阵计算确定气体浓度

环境温度：

分析仪：150°C (302°F, 423.15 K)

电子产品：5–40°C (41–104°F, 278.15–313.15 K)

分析器：量子点400

烘烤温度：分析仪：400°C (752°F, 673.15 K)

至操作面板的电缆长度：3米

连接法兰：DN63CF-F（英寸）

检测限：1 × 10^-15 hPa (7.5 × 10^-16 托, 1 × 10^-15 毫巴)

探测器：七217

灯丝：涂覆Y2O3的铱

高频发生器：QMH800-5

高压供电：高压801

I/O接口：以太网

输入电压：100–240伏交流电，50/60赫兹

离子源：轴向，1个灯丝

离子源供给：是816

电源频率兼容性：50赫兹 / 60赫兹

质量范围：1–512 u (质量范围单位应该是“u”，可能是“amu”即原子质量单位)

测量速度：中等：0.125毫秒–60秒/秒

测量速度：扫描模拟：0.125毫秒–60秒/秒

MID中的测量通道数：128个

 Pfeiffer涡轮分子泵 ATH2303M 真空泵变频器

极大工作压力：法拉第：1 × 10^-4 hPa (7.5 × 10^-5 托, 1 × 10^-4 毫巴)

极大工作压力：SEM：1 × 10^-5 hPa (7.5 × 10^-6 托, 1 × 10^-5 毫巴)

SEM测量分压比：0.5 ppb (部分数据可能需要确认单位和实际用途)

峰比率重现性：0.1%

前置放大器：EP822

分辨率，峰高10%可调：0.3–7点

杆系：

直径：8毫米 (0.31英寸)

长度：200毫米 (7.87英寸)

材质：钼

Ar灵敏度：法拉第：5 × 10^-4 A/百帕 (3.75 × 10^-4 托, 5 × 10^-4 毫巴)

软件：PV-质谱®

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量规

CCT365,DN16CF-R,RS-485,以太网

测量范围：1·10-5–0.1hPa

压力测量与气体类型无关

最小零点漂移

精确的温度补偿

陶瓷技术中的传感器

交付时包含校准测试报告

EtherCat接口

量程1内的测量精度：0.5%（测量值）

环境温度：5–50°C (41–122°F, 278.15–323.15 K)

法兰烘烤温度：≤110°C (≤230°F, ≤383.15 K)

连接法兰：DN16CF-R

电气连接：RS485，M12，5极，插座，A编码

全尺寸：0.1 hPa (0.1 hPa, 7.5 × 10^-2 托, 0.1 毫巴)

I/O接口：RS-485，以太网

输入电压：14–30伏直流

接口：连接、设备侧：RS-485，M12，5极，插座，B编码

与介质接触的材料：陶瓷 (Al2O3=99.5%)，不锈钢 (AISI316L)

测量电缆长度：100米

测量周期：160毫秒

测量方法：电容式

测量范围：1 × 10^-5–1.1 × 10^-1 百帕 (7.5 × 10^-6–8.25 × 10^-2 托, 1 × 10^-5–0.11 毫巴)

极大功耗：5瓦

极大压力：1300 hPa (975 托, 1300 毫巴)

保护等级：IP40

解决方案精度：满量程的 0.003%

温度影响（测量值范围内）：测量值的 0.03%/°C (32.05°F, 273.18 K)

温度影响（零点）：0.02% 满量程/°C (32.04°F, 273.17 K)

重量：0.69千克 (1.52磅)

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真空泵

隔膜泵24VDC

极其紧凑的隔膜泵，抽气速度高达0.25m3/h

无碳氢化合物：干燥、无油隔膜泵

低噪音、低振动

高品质和短维护时间带来低运营成本

由于集成控制输入0-5V，速度可变

适用于移动应用和集成在最小的安装空间中

环境温度：5–40°C (41–104°F, 278.15–313.15 K)

连接法兰（英寸）：1/8英寸

连接法兰（出）：G1/8" 带消音器

冷却方式：自然对流

极大电流：0.5安

尺寸（长×宽×高）：116 x 116 x 62毫米 (4.57 x 4.57 x 2.44英寸)

发射声压级（EN ISO 2151）：48分贝（A）

极大排气压力：1300 hPa (975 托, 1300 毫巴)

最终压力：7百帕 (5.25 托, 7 毫巴)

气镇流器：是的

输入电压：24伏直流电（±5%）

输入：模拟：0–5伏直流电

极大进气压力：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

整体泄漏率：6 × 10^-3 帕斯卡立方米/秒 (4.5 × 10^-2 托升/秒, 6 × 10^-2 毫巴升/秒)

电源线：无

电机保护：电子方式

电机类型：直流电机

公称转速：3000转/分 (3000分钟^-1)

泵送级数：两阶段

极大工作高度：2000米

保护等级：IP30

抽气速度：0.25立方米/小时 (0.15立方英尺/分钟, 4.17升/分钟)

旋转速度：1000–3000转/分 (1000–3000分钟^-1)

电压源极大短路电流：45安

转变：无

重量：0.74千克 (1.63磅)

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泵站

HiCube300HDN100CF-FACP15

适用于所有高真空应用的紧凑型泵站系列

触摸显示屏，操作简单

可通过Web服务器进行远程控制

可靠且坚固

环境温度：12–35°C (53.6–95°F, 285.15–308.15 K)

前级泵：ACP15

连接法兰（英寸）：DN100CF-F

连接法兰（出）：DN16 ISO-KF

冷却方式：空气（强制对流）

发射声压级（EN ISO 2151）：≤50分贝 (A)

最终压力：5 × 10^-10 hPa (5 × 10^-10 hPa, 3.75 × 10^-10 托, 5 × 10^-10 毫巴)

前真空安全阀：是的

输入电压：100–120/200–240伏交流电（±10%），50/60赫兹

电源频率兼容性：50赫兹 / 60赫兹

模块插槽1：量表/IO

区域电机：全球适用

50Hz时前级泵的抽速：14立方米/小时 (8.24立方英尺/分钟, 233.33升/分钟)

N2抽速：260升/秒

极大转速时的额定功率：810瓦

涡轮泵：HiPace300H

类型：涡轮泵站

重量：81千克 (178.57磅)

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PFEIFFER公司部分产品型号：

PFEIFFER 11000系列

PFEIFFER 21700系列

PFEIFFER ASM 340

PFEIFFER ASM 390

PFEIFFER ASM 192

真空分子泵TMH261YP PM P03 530PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TIC250PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TCP015PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TW250PFEIFFER TCP 600 

真空分子泵 VACUUM TCP121PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TCP380 、TCP 600 

TURBO Pump ControllerPfeiffer TC 600 ,

TCP 380,  TCP 121, 

TCP 035, TCP 015, 

DCU 200BALZERS VACUUM IMG300 IMG 300 INFICONGAUGE CONTROLLERPFEIFFER-BALZERS: TCP-040, 

TCP-120, TCP-121, TCP-300, TCP-310, TCP-380, TCP-600, TCP-5000

TCP-015、TCP-40、TCP-120、TCP-121、TCP-300、TCP-380

TCP-310、TCP-600、TCP-015、TCP-040、TCP-120、TCP-121

TCP-300、TCP-380、TCP-310 、TCP-600、TCP 380 、TCP 270

TPS 600 、TCP 5000 

Alcatel/Aixen 阿尔卡特分子控制器 

ACT250 ACT100T ACT600T ACT200T ACT100T

Alcatel/Aixen 阿尔卡特分子控制器

 ACT600Alcatel/Aixen ACT250 

TY108320EDWARDS 

VACUUM CONTROLLER EXC-100EDWARDS 

VACUUM PUMP DRIVER EXC-300Edwards